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AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人
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AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂B型晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

產品描述


4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人
AHYR2110F_AHY系列半導體機器人
 
  • ● 高可靠真空隔離,從容應對高真空環(huán)境
  • ● 電機直接驅動機器人運動,提升運行可靠性
  • ● 高強度高剛性鋼帶傳動,實現(xiàn)手臂高傳動精度
  • ● 采用閉環(huán)伺服控制,實現(xiàn)高精度位置控制

臂長

213.4mm

  額定/最大負載

 ≤1kg

搬運物

≤Φ300mm晶圓

新時達眾為興AHYR4210F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

關鍵詞:

新時達眾為興AHYR4210F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人

規(guī)格參數(shù)

新時達眾為興AHYR2110F_4軸真空直驅雙臂R型晶圓搬運機器人